閉管軟著陸擴散系統(包括常壓擴散&低壓擴散)

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產品詳情

色度坐标图 www.ubcvx.icu ◆  閉管磷擴散,帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置,工藝廢氣集中收集從尾部定向排出;工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內。閉管擴散方式工藝過程完全不受外界環 境干擾,工藝質量完全受控。

 

◆ 自動控制溫度過程及工藝過程,全部采用進口優質產品。

◆ 送取片方式:精心設計制造的軟著陸裝置,全數字化控制,性能更加穩定可靠,其特點平穩可靠、無爬行、Sic漿實現免清洗、定位準確、承重量大、使用壽命長。

 

◆ 可用于離子注入后的退火工藝。

◆ 我公司亦可提供硼擴散設備。


■ 技術指標

◆ 工作溫度:600~1150℃                        

◆ 恒溫區長度:1350mm

◆ 溫區精度 (靜態閉管測試): 800℃<工作溫度<1150℃:±0.5℃   600℃≤工作溫度≤800℃ :±1℃

◆ 單點溫度穩定性(靜態閉管測試):800℃<工作溫度<1150℃:±0.5℃/24h    600℃≤工作溫度≤800℃:  ±1℃/24h

◆ 溫度斜變能力:最大可控升溫速度:(600~1150℃) 15℃/min;  最大可控降溫速度:(1150~600℃)  8℃/min

◆ 氣體流量設定精度:±0.5%FS                 

◆ 氣路系統氣密性:1×10-7pa.m3/s

◆ 自動送料裝置行程:  ~2000mm    速度:5~1000mm/min     SiC漿承重:19kg

◆ 裝片數量: 530片/管(槽間距:4.76mm)                         

◆ 凈化臺潔凈度:100級(10000級廠房)

◆ 三相五線制:380V±10%,50Hz±10%Hz           

◆ 冷卻水:2~4Kgf/cm2,~8L/min

◆ 1管、2管、3管、4管、5管分別可??;自動裝載機械手可選,設備性能、工藝性能可與進口設備媲美。

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