PECVD等離子增強化學氣相淀積設備

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產品詳情

色度坐标图 www.ubcvx.icu ◆ 用工控機對工藝時間,溫度,氣體流量,閥門動作,反應室壓力實現全自動控制。

◆ 采用進口壓力控制系統,閉環系統,穩定性高。

◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門,確保氣路氣密性。

◆ 具有完善的報警功能及安全互鎖裝置。

◆ 具有超高溫報警及欠溫報警,MFC報警,反應室壓力報警,RF報警,高壓空氣壓力    報警, N2 壓力報警,流報警等。

◆ 現有的PECVD改造升級后具有生長SiO2薄膜的功能,解決了電池組件PID問題。

同時可生長SiNxOy薄膜(背面鈍化工藝),可極大地提高電池的轉換效率。

 

 類   型

◆ 裝片數量: 320片/舟(125*125) 252片/舟(156*156)

◆ 凈化臺潔凈度:100級(10000級廠房)

◆ 自動化程度:自動控制溫度及工藝過程。

◆ 送取片方式:軟著陸式,其特點平穩可靠、無爬行、定位準確、承重量大、使用壽命長。

 

 

 

■ 技術指標

◆ 每管最大裝片量:320片/舟(125*125)  252片/舟(156*156)

◆ 工藝指標:片內±3%,片間±3%,批間±3%

◆ 工作溫度:200~500℃

◆ 溫區精度及長度(靜態閉管測試):1200mm ±1℃

◆ 氣體流量精度:±1%FS

◆ 氣路系統氣密性:1×10-7Pa.m³/s

◆ 控制:全進口自動壓力閉環調節系統,精準控制反應真空; 40KHz AE 高頻電源;工藝舟軟著陸;全數字式控制,完善安全的過程控制?;?。

◆ 1管、2管、3管、4管分別可??;自動裝載機械手可選,設備性能、工藝性能可與進口設備媲美。

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