LPE液相外延爐

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產品詳情

色度坐标图 www.ubcvx.icu ■  設備優勢

◆ 溫度控制:采用進口穩定可靠的智能儀表,能夠實現整個工藝過程的自動精確控溫。

◆ 生長材料定位系統:以進口直線電機為主體,系統定位精確且無抖動,加速度大能快速啟動,可快速精準的將生長材料移動至下一個生長點。

◆ 黃金爐體加熱系統:采用“黃金”爐體加熱,能夠快速升溫,準確恒溫,精確降溫。“黃金”爐體主體由石英管、電阻絲及剛玉組成,潔凈度高,適合于IC、電子器件的快速退火、液相外延等工藝。

◆ 真空系統:本系統配有真空系統,極限真空度1Pa。本地真空時間視工藝管路。

◆ 工藝氣體:可配置H2、 N2 、O2  等工藝氣體,帶有自動連鎖, 危險氣體檢測及尾氣燃燒裝置。

 

■  主要技術指標  

◆ 工作溫度:300-700℃恒溫區長度:240mm(可根據客戶要求進行定制)

◆ 溫區精度: 500℃<工作溫度<650℃:±0.5℃

◆ 單點溫度穩定性(動態測試):±0.1℃

◆ 溫度斜變能力:最大可控升溫速率:50℃/min   最大可控降溫速率:30℃/min

◆ 氣體流量精度:1% FS

◆ 氣路系統氣密性:1×10-7Pa·m³/S

◆ 速度:0.1~9999mm/s

◆ 爐體移動速度:5~1000mm/min

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